解决方案

半导体行业对生产环境要求十分严格， KUNGFU ARCO系列复合机器人 具有防震，防抖动，静音生产特性，终端定位精度高达±0.05mm， CLASS 100洁净度适应高柔性化生产模式，可满足FOUP、FOSB、 Wafer Casstte、 CST、及MGZ等在机台间的上下料、转运工作， 能为半导体生产应用提供高效的系统解决方案。